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                    台积电和三星7nm竞赛正式开打,EUV成为关键

                    52RD.com 2019年5月30日 电子工程专辑            参与:2人 我来说两句
                      三星、台积电10 纳米技术量产,7 纳米制程战火持续升高!而且随着关键的微影技术来到瓶颈,7 纳米制程技术也变成新一轮制程技术的关键之战。

                      除了三星在去年年中传出急购EUV 机台,力拼2017 年底量产7 纳米,台积电在上周12 日法说会首度明确指出,在7 纳米制程第二年,就会导入EUV 减少光罩层数,至5 纳米制程全面采用EUV。台积电总经理暨共同执行长刘德音曾透露,10 纳米与7 纳米将有95% 设备是共用,也因此台积电此前表明,至5 纳米才会正式转进EUV,现在三星、台积电在7 纳米将一前一后用上EUV,先进制程也正式宣告进入新一阶段技术竞赛。

                      随着先进制程来到10 纳米以下,制程微缩瓶颈一一浮现,尤其是制程中难度最高的微影技术,目前主流多采用193 纳米浸润式微影技术,但从65 纳米制程到现在一路突破物理极限至目前10 纳米,面临的不只是物理上的瓶颈,愈来愈复杂的图形造成曝光次数增加,光罩成本也跟着倍增。摩尔定律价格不变,积体电路上可容纳的电晶体数量每隔18——24 个月会增加一倍的目标变得窒碍难行,极紫外光(EUV)微影就被视为摩尔定律能持续往下走的关键。

                      EUV先前因光源强度与生产量未达经济效益,迟迟未能量产。据目前EUV设备制造商艾司摩尔(ASML)在去年11月EUVL Workshops透露的进度,EUV光源强度已能达到125W,预计2018年能达到光源强度250W,可支持每小时生产125片晶圆的量产目标。届时三星与台积电正好走至7纳米制程。距离台积电2020年5纳米量产,EUV或许更能接近浸润式微影设备每小时能生产逾200片晶圆的生产效益。

                      晶圆制造商先前已陆续安装EUV 进行试产,三星在2015 年7 月即携IBM,利用EUV 打造7 纳米芯片原型,2016 年中再有消息指出,三星砸重金采购新的NXE 3400 EUV 机台,将于7 纳米就导入EUV 技术以力抗台积电等对手。而台积电先前即拥有两台NXE 3300 EUV 设备,据悉在今年第一季又再引进了两台NXE 3400,另外,有消息指出,艾司摩尔大客户在7 纳米同样有意导入EUV。从艾司摩尔18 日的最新数据,加上2016 年第四季再获得的4 台订单,目前EUV 设备累积订单数量已达18 台。

                      然EUV 机台并不便宜,一台EUV 光刻机要价逾1 亿美元,是其他微影技术设备金额的两倍,这场制程竞赛,比技术也比银两,竞争门槛跟着愈垫愈高。

                      追逐新工艺需求带旺ASML,2018  EUV产能达到24台

                      欧洲最大半导体设备厂艾司摩尔(ASML)18日发布优于市场预期的第4季财报,并表示最新、最贵的机器订单已接到2018年初。

                      ASML上季净利由一年前的2.92亿欧元增至5.24亿欧元(5.6亿美元),优于分析师预估的4.14欧元。第4季营收成长33%至19.1亿欧元,连续第四年营收成长。

                      ASML该公司预计今年第1季利润率约为47%,营收为约18亿欧元(19亿美元),高于分析师平均预计17.6亿欧元,以及一年前的13.3亿欧元。

                      ASML股价18日早盘劲扬5.7%,为2016年1月21日以来最大涨幅。ASML的股价过去一年已上涨50%,公司市值达476亿欧元。

                      最新光刻系统的展望佳,对艾司摩尔至为重要,这是该公司能否持续主宰市场及达成2020年前年销售110亿美元的关键因素。

                      艾司摩尔执行长温彼得(Peter Wennink)说,2016年肯定是重要的转捩点,「从我们的订单可以看出来」。该公司上季拿到15.8亿欧元的新订单,包括六部新极紫外光(EUV)光刻机,每部价值约1亿欧元,而且需一年时间建置。

                      以ASML目前的产能每年可生产12部EUV,2018年前将扩增至24部。报导指出,艾司摩尔2017年所有EUV机器都已卖掉,而且2018年的首批订单也到手了。52RD.com  微博关注:http://weibo.com/52rd  微信关注:admin_52RD
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